微电铸器件铸层均匀性的研究

• 作者: 刘海军 朱神渺 杜立群 秦江
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 铸层均匀性 Fick第二定律 正负脉冲电流
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 69-75
• 页数: 7页
• 分类号: TN405|TG249.9
• 字数: 3409字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.01.012

摘要

理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究.实验采用的微电铸器件是特征宽度为90 μm的微流控芯片的金属模具.微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电铸和去除SU-8胶.为了对实验结果进行对比分析,两组实验的工作时间和电流强度均采用240 min和2.5 A/dm2.将正负脉冲电流微电铸与正脉冲电流微电铸的实验结果进行了对比分析.研究结果表明,正负间断脉冲电流能够获得较好的器件铸层均匀性.由于在负向脉冲的间断时间内,铸层表面附近的浓度极差得以改变,因此正负间断脉冲电流微电铸的铸层均匀性优于正间断负连续脉冲电流微电铸.实验结果与理论分析结果相一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室	61	480	13.0	19.0
5	刘海军	大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室	16	371	12.0	16.0
9	秦江	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	5	89	4.0	5.0
10	朱神渺	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	7	110	5.0	7.0