超声电铸提高金属微流控芯片模具的均匀性

• 作者: 刘冲 杜立群 杨彤 王磊 罗磊 赵明 陶友胜
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 化学
• 关键词: 超声搅拌 微电铸 均匀性 微流控芯片模具 超声空化 声流
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 064111-1-064111-5
• 页数: 1页
• 分类号: O426.9|O646.541|TG76
• 字数: 3329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.064111

摘要

利用微电铸技术制作的微流控芯片模具往往存在沉积厚度不均匀的缺陷，这种缺陷会影响模具的尺寸精度及使用性能，并增加模具的制作成本。为了制得厚度均匀的微流控芯片模具，研究了超声电铸对模具均匀性的影响。首先，采用有限元软件 COMSOL Multiphysics 建立微流控芯片模具的微电铸模型，分析电铸2 h 后的模具的厚度分布。并根据该仿真结果，设计掩模版。然后，在自主搭建的超声电铸装置中进行一系列电铸实验，来研究超声搅拌对模具均匀性的影响。实验结果表明：电铸过程中添加超声搅拌可以改善微流控芯片模具的均匀性。超声功率为200 W 时，超声频率改善模具均匀性的程度为200 kHz＞80 kHz＞120 kHz。超声频率为200 kHz 时，超声功率改善模具均匀性的程度为500 W＞200 W＞100 W。当超声的频率和功率分别为200 kHz 和500 W 时，与无超声电铸相比，模具的均匀性提高约30％。