微流控器件金属镍模具的电铸制作

• 作者: 周勇亮 张峰 杨防祖 郝苇苇
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微流控器件 生物微机电系统 制作 电铸 模具
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 1306-1309
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.025

摘要

提出了一种微流控器件金属镍模具的制作方法.首先应用凸角补偿技术以各向异性湿法腐蚀硅得到呈凹图案的硅基阴模,再在硅基上电铸制作镍阳模.以此阳模为模具经过浇模、键合批量制作PDMS微流控器件.结果表明镍模具的平整度高,其表面算术平均粗糙度为0.725μm.多次复制得到的微流控器件重现性好,一致性高,其沟道的下底宽度、上顶宽度和深度的相对标准偏差(RSD)分别为1.70%、2.29%和5.31%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨防祖		57	701	16.0	23.0
2	郝苇苇		2	10	2.0	2.0
3	张峰		40	79	5.0	8.0
4	周勇亮		12	137	5.0	11.0