利用微电铸制作镍悬臂梁

• 作者: 刘益芳 吕文龙 孙道恒 崔宏巍 杨防祖
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 微电铸 铸层
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 658-660
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.43
• 字数: 1693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2005.05.017

摘要

为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁,采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺.在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后,设计了整个工艺流程,利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作.工艺实验结果表明,整个变截面悬臂梁的铸层表面没有缺陷,但不同微电铸面积的基座、粗梁、细梁的铸层厚度不均匀,其中,铸层面积最大的基座铸层最厚,面积次之的粗梁的铸层厚度居中,面积最小的细梁的铸层最薄.实验证明在一定范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕文龙	厦门大学机电工程系	8	63	5.0	7.0
2	崔宏巍	深圳职业技术学院汽车工程系	22	85	6.0	8.0
3	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
4	杨防祖	厦门大学化学化工学院	57	701	16.0	23.0
5	刘益芳	厦门大学机电工程系	15	50	3.0	6.0