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利用微电铸制作镍悬臂梁
利用微电铸制作镍悬臂梁
作者:
刘益芳
吕文龙
孙道恒
崔宏巍
杨防祖
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
悬臂梁
微电铸
铸层
摘要:
为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁,采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺.在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后,设计了整个工艺流程,利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作.工艺实验结果表明,整个变截面悬臂梁的铸层表面没有缺陷,但不同微电铸面积的基座、粗梁、细梁的铸层厚度不均匀,其中,铸层面积最大的基座铸层最厚,面积次之的粗梁的铸层厚度居中,面积最小的细梁的铸层最薄.实验证明在一定范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象.
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引文网络
相关学者/机构
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内容分析
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关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
利用微电铸制作镍悬臂梁
来源期刊
厦门大学学报(自然科学版)
学科
工学
关键词
悬臂梁
微电铸
铸层
年,卷(期)
2005,(5)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
658-660
页数
3页
分类号
TQ153.43
字数
1693字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0438-0479.2005.05.017
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
吕文龙
厦门大学机电工程系
8
63
5.0
7.0
2
崔宏巍
深圳职业技术学院汽车工程系
22
85
6.0
8.0
3
孙道恒
厦门大学机电工程系
81
618
14.0
21.0
4
杨防祖
厦门大学化学化工学院
57
701
16.0
23.0
5
刘益芳
厦门大学机电工程系
15
50
3.0
6.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(5)
节点文献
引证文献
(8)
同被引文献
(2)
二级引证文献
(55)
1994(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1995(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1997(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1999(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2004(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2005(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2006(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2007(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
2008(4)
引证文献(2)
二级引证文献(2)
2009(7)
引证文献(0)
二级引证文献(7)
2010(8)
引证文献(1)
二级引证文献(7)
2011(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2012(8)
引证文献(2)
二级引证文献(6)
2013(5)
引证文献(0)
二级引证文献(5)
2014(6)
引证文献(0)
二级引证文献(6)
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引证文献(0)
二级引证文献(3)
2016(6)
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二级引证文献(4)
2019(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
悬臂梁
微电铸
铸层
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
厦门大学学报(自然科学版)
主办单位:
厦门大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
0438-0479
CN:
35-1070/N
开本:
大16开
出版地:
福建省厦门市厦门大学囊萤楼218-221室
邮发代号:
34-8
创刊时间:
1931
语种:
chi
出版文献量(篇)
4740
总下载数(次)
7
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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厦门大学学报(自然科学版)1998
厦门大学学报(自然科学版)2005年第z1期
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厦门大学学报(自然科学版)2005年第5期
厦门大学学报(自然科学版)2005年第4期
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