表面微加工中镍的微电铸

• 作者: 吕文龙 孙道恒 陈义华
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸 脉冲 表面微加工 镍
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 407-409
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.4
• 字数: 2242字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.145

摘要

介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕文龙		8	63	5.0	7.0
2	孙道恒		81	618	14.0	21.0
3	陈义华		3	24	2.0	3.0