热压法快速制作微流控芯片模具

• 作者: 叶嘉明 周勇亮 李明佳
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微流控芯片 模具 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 热压法
• 年，卷（期）: 2007,（19）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 2379-2382
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 3726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132x.2007.19.026

摘要

提出了一种微流控芯片模具的快速批量制作方法.应用光刻与湿法腐蚀技术制作玻璃母模,然后采用热压成形技术批量制作聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)阳模,再利用阳模浇模、键合批量制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片.结果表明,该法制作的PMMA模具及复制得到的PDMS芯片平整度好、一致性高,其沟道宽度和深度的相对标准偏差分别小于0.5%和1.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周勇亮		12	137	5.0	11.0
2	叶嘉明		2	10	2.0	2.0
3	李明佳		1	6	1.0	1.0