PMMA微流控芯片微通道热压成形与键合工艺研究

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 聚甲基丙烯酸甲酯 微流控芯片 热压成形
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 先进加工制造技术
• 页码范围: 272-276
• 页数: 5页
• 分类号: TQ316
• 字数: 2765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.061

摘要

微流控芯片在化学分析、临床诊断等领域的应用前景广阔.聚合物材料具有低成本、良好的加工性能、可用热压等快速成形方法加工微通道、易于实现批量生产等优点,适于作为制作微流控芯片的基材.本文研究了微通道热压成形及其芯片制作工艺.以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为基材制作了微流控芯片.在加热软化的PMMA上,用带有凸起微结构的镍模具在基片上压制出开放微通道,讨论了热压过程中温度、压力对芯片微通道成形质量的影响,确立了优化的热压成形工艺.在PMMA玻璃转化点(Tg)附近,通过施加一定的压力,实现基片与盖片的直接键合,获得了密闭分离微通道,并在PMMA微流控芯片上实现了安非他明的分离检测.