CO2激光直写加工PMMA微流控芯片

• 作者: 叶嘉明 周勇亮 张玉龙 张维
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 化学
• 关键词: 微流控芯片 激光加工 聚甲基丙稀酸甲酯 CO2激光
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 生化微系统
• 页码范围: 102-105
• 页数: 4页
• 分类号: TN4|O657
• 字数: 2928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.033

摘要

提出使用CO2激光器进行PMMA微流控芯片加工的方法.研究了激光功率,频率,扫描速度等参数及加工程序对芯片加工质量的影响.使用热压法进行芯片键合.考察了键合过程交叉沟道局部封闭的原因并提出工艺的改进.采用三维显微成像系统和配置CCD的金相显微镜对PMMA芯片的微沟道及其横截面进行了表征.该方法快速简单,设备成本和操作成本低廉,尤其适于科研机构进行芯片的前期开发.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉龙		7	42	4.0	6.0
2	周勇亮		12	137	5.0	11.0
3	叶嘉明		2	10	2.0	2.0
4	张维		1	4	1.0	1.0