CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片

• 作者: 刘晓清 周勇亮 郝苇苇 高巍巍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微流控芯片 制作 CO2激光 湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微流控器件与技术
• 页码范围: 2038-2040
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 2629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.191

摘要

玻璃是制作微流控芯片的重要材料,其加工工艺主要基于光刻后湿法腐蚀,对设备和实验室要求较高.本文提出以普通指甲油和指甲油/金/铬为牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,辅以湿法腐蚀加工玻璃基微流控芯片的方法,并考察了激光加工参数,腐蚀液组成,牺牲层等因素对芯片质量的影响.该方法简便易行,不需要光刻的昂贵设备和繁杂步骤.