辅助溶剂对PMMA微流控芯片模内键合的影响

• 作者: 刘冲 徐征 杨铎 王立鼎 王继章
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 模内键合 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 微流控芯片 异丙醇 微注塑 溶剂辅助键合
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 321-328
• 分类号: TN405
• 字数: 2992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122002.0321

摘要

为了提高聚合物微流控芯片的键合效率,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片为对象,以微型注塑机为平台,研究了聚合物模内键合方法.利用注塑机提供的合模力作为键合力,利用模温机提供键合温度,选择异丙醇作为辅助溶剂,借助溶剂溶解特性来降低模内键合中的键合温度和压力.在30～70℃,用测量显微镜和台阶仪测试分析了不同键合温度条件下,辅助溶剂对芯片的表面形貌和微通道结构的影响；利用辅助溶剂进行模内键合实验,用电子万能实验机测试了芯片的键合强度,对模内键合工艺参数进行了优化.结果表明:异丙醇对键合质量的影响与键合温度、键合时间有关,在较高温度下会使芯片产生皲裂、微沟槽变形和堵塞；在键合温度为35℃,键合时间为5 min时,芯片的表面质量和微沟槽形貌较完整,键合强度不小于2.64 MPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘冲	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	156	1345	17.0	30.0
2	王立鼎	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	130	1877	24.0	38.0
3	徐征	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	52	292	9.0	14.0
4	杨铎	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	4	48	3.0	4.0
5	王继章	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	2	41	2.0	2.0