PMMA微流控芯片微通道尺寸的检测

• 作者: 于建群 刘岩 刘庆民 左春柽 张学军 文伟力 陈向伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微流控芯片 微细加工 CCD图像检测 尺寸测量 图像处理 二次标定
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 212-218
• 页数: 7页
• 分类号: TP391.4|TB92
• 字数: 4098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.02.011

摘要

研究了一种基于光电耦合器件(CCD)及图像处理技术的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片微通道几何尺寸的测量系统,论述了该系统的关键技术及其实现方法,包括图像的预处理、二值化、轮廓提取以及微通道尺寸的测量等.利用该系统测量的微通道几何尺寸(1～1 000 μm)与轮廓仪和万能工具显微镜的测量结果吻合很好,最大测量误差为2 μm(半深宽度),分析了测量误差产生的原因.检测实验结果表明:该检测方法提供的微通道几何尺寸评定正确可行、通用性好、应用简便,还可以避免轮廓仪在深结构测量中的误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于建群	吉林大学生物与农业工程学院	45	653	12.0	24.0
2	左春柽	吉林大学机械科学与工程学院	65	433	11.0	16.0
3	刘庆民	吉林大学机械科学与工程学院	13	234	9.0	13.0
4	陈向伟	吉林大学机械科学与工程学院	15	295	10.0	15.0
5	刘岩	吉林大学机械科学与工程学院	142	948	16.0	26.0
6	文伟力	吉林大学机械科学与工程学院	7	40	4.0	6.0
7	张学军	吉林大学机械科学与工程学院	28	152	7.0	11.0