微电铸中电场均匀性分布与控制方法

• 作者: 杜立群 王法震 王立鼎 邵力耕
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸 电位 半圆形空心圆柱阳极 均匀性
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 675-680
• 页数: 6页
• 分类号: TQ153.4
• 字数: 3436字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.05.009

摘要

微电铸技术用来生产金属微器件,已经成为一种重要的和有效的加工方法.为了获得理想的电铸产品结构,电铸液中电场的分布起到了重要的作用.电铸液中电场的均匀性分布可以提高微电铸的铸层质量和尺寸精度,并能提高电铸微观结构的力学性能.本文基于三电极体系提出了一种新的电场测量方法,并通过改变阳极的形状和位置来提高阴极附近电位分布的均匀性.实验结果表明,采用半圆弧形板作为阳极时,电铸液空间电场分布均匀性和阴极附近电场分布均匀性有明显的提高.因此,在实际应用中半圆弧形阳极可以改善电铸微器件的微观结构,提高铸层表面均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群		61	480	13.0	19.0
5	王立鼎		130	1877	24.0	38.0
9	邵力耕		16	54	4.0	7.0
10	王法震		1	2	1.0	1.0