一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计

• 作者: 张流强 温志渝 王佳能
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 微悬臂梁 优化设计 响应时间 灵敏度
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 235-237
• 页数: 3页
• 分类号: TH811|TH89
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.081

摘要

为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器.对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析.设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝		143	1259	18.0	26.0
2	张流强		34	188	7.0	11.0
3	王佳能		1	0	0.0	0.0