基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作

• 作者: 佟建华 刘梦伟 崔天宏 崔岩 王兢 王立鼎 董维杰
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: PZT薄膜 压电 集成 微悬臂梁
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 467-468
• 页数: 2页
• 分类号: TH823
• 字数: 1893字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.168

摘要

设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成.悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向.为了提高悬臂梁的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董维杰		80	585	12.0	20.0
2	王立鼎		130	1877	24.0	38.0
3	崔岩		59	332	10.0	16.0
4	王兢		81	398	9.0	14.0
5	佟建华		7	19	3.0	4.0
6	刘梦伟		8	56	5.0	7.0
7	崔天宏		1	3	1.0	1.0