微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析

• 作者: 唐祯安 张凤田 江胜峰 金仁成 高仁璟
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微加热式微气压传感器 恒温 测试电路 加热电阻
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 281-284
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.098

摘要

根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在恒温工作模式下有较高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安		142	1281	17.0	29.0
2	高仁璟		35	187	6.0	12.0
3	金仁成		37	224	9.0	13.0
4	张凤田		9	27	3.0	5.0
5	江胜峰		2	2	1.0	1.0