靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价

• 作者: 唐永建 孙涛 董申 赵学森 高党忠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: ICF靶丸 AFM 球度 表面粗糙度 功率谱 精密回转主轴系 辅助转位轴系
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1847-1851
• 页数: 5页
• 分类号: TL627
• 字数: 2386字
• 语种: 中文

摘要

建立了由改造的原子力显微镜(AFM)、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统,气浮轴系的回转精度达0.049μm,实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量.对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析.结果表明:其球度值为0.42μm;模数范围为2～10,11～50,51～100及101～1 000对应的表面粗糙度值平均为105.7,12.2,6.2,18.25nm;并得出了平均1维功率谱-模数关系曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
3	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
4	高党忠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	44	290	11.0	15.0
5	赵学森	哈尔滨工业大学精密工程研究所	11	49	4.0	6.0