四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用

• 作者: 孙以材 孟庆浩 宫云梅 武建平 赵卫萍
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料电阻率温度系数 电阻率分布 规范化多项式拟合 非线性函数
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1438-1441
• 页数: 4页
• 分类号: TN325
• 字数: 2048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2005.08.020

摘要

本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用我们开发的规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立即得到折合到23℃的硅单晶断面的电阻率分布.本文阐述了规范化拟合的原理,给出了单晶硅的TCR的拟合结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子所	117	1247	18.0	31.0
2	孟庆浩	天津大学自动化学院	37	554	13.0	22.0
3	赵卫萍	河北工业大学微电子所	7	28	3.0	5.0
4	宫云梅	河北工业大学微电子所	4	20	3.0	4.0
5	武建平	河北工业大学微电子所	1	5	1.0	1.0