用于薄膜热容测量的微型量热计

• 作者: 余隽 唐祯安 张凤田 王立鼎 陈正豪
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微量热计 MEMS器件 薄膜 热容 脉冲量热法
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 168-170
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.057

摘要

设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术.与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点.在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从300K升至400K只需约0.5ms,升温速率达2×105K/s.针对微量热计热质小、升温快等特点,引入了脉冲扫描量热法来测量薄膜的热容.测量了厚度为(430±20)nm的Al薄膜从300K到420K的热容曲线,该薄膜的热容在室温附近为9.2nJ/K.若薄膜的密度值取2700kg/m3,则该Al薄膜的比热容在室温下约为1096.8J/(kg·K),比Al体材料的比热容值900J/(kg·K)增加了约21.9%,表现出金属纳米晶体的热容增强效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安		142	1281	17.0	29.0
2	余隽		37	252	7.0	14.0
3	王立鼎		130	1877	24.0	38.0
4	陈正豪		10	61	4.0	7.0
5	张凤田		9	27	3.0	5.0