超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究

• 作者: 侯德胜 张万里 谌贵辉 赵泽宇
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超磁致伸缩薄膜 微机电系统 微机械变形镜 驱动器 微桥
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 151-155
• 页数: 5页
• 分类号: TN712.2
• 字数: 3894字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.051

摘要

分析了微机械变形镜MEMS驱动器的种类及其特点,并在磁致伸缩薄膜具有低磁场下的大形变、低功耗、高响应速度等特性基础上,提出了超磁致伸缩薄膜MEMS驱动器的原理.由于TbFe磁致伸缩薄膜在外加磁场作用下,微桥将在水平方向上产生伸长变形,从而引起微桥在垂直方向上发生位移.根据这一原理,设计了一种用于微机械变形镜MEMS驱动器的超磁致伸缩薄膜驱动结构,同时提出制作磁致伸缩薄膜连续式微机械变形镜的工艺流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张万里		142	705	13.0	17.0
2	侯德胜	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	12	150	4.0	12.0
3	赵泽宇	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	13	47	4.0	6.0