一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究

• 作者: 叶雄英 周兆英 朱常兴 李勇 陈旭鹏
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 微型阀 微小流量控制 电磁致动器
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 生化微系统
• 页码范围: 99-101
• 页数: 3页
• 分类号: TP271.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.032

摘要

介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(2～3V)、功耗低、结构尺寸小(体积为3.0cm3)、流量小(0.3MPa时体积流量小于0.23mL/s)等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	3706	31.0	54.0
2	李勇	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	207	2161	23.0	35.0
3	叶雄英	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	62	1070	15.0	31.0
4	陈旭鹏	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	9	87	6.0	9.0
5	朱常兴	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	0	0.0	0.0