聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进

• 作者: 张博军 方震 曾欢欢 王奇 赵湛
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 湿度传感器 聚酰亚胺(PI) 电容式 反应离子刻蚀(RIE) 边缘效应
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 196-199
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.067

摘要

聚酰亚胺(PI)电容式湿度传感器的新型设计简化了工艺流程,避免引线台阶式引出时可能出现的脱落、断裂等问题;改进了温度补偿电极的位置及结构;分析了平板式电容式传感器的等效电路及简化条件,以及PI薄膜的厚度与亚胺化温度对吸湿性能的影响.研究了反应离子刻蚀(RIE)对完成电极腐蚀后的芯片进行高选择比的各向异性刻蚀及对湿度响应的影响,结果表明增大了PI与周围环境的接触面积,提高了响应速度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵湛	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	54	723	10.0	26.0
2	王奇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	12	30	3.0	5.0
3	方震	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	32	605	8.0	24.0
4	曾欢欢	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	4	8	2.0	2.0
8	张博军	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	7	29	3.0	5.0