MEMS三维动态测试系统的同步控制方法

• 作者: 刘世元 刘胜 史铁林 来五星 白金鹏 谢勇君
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 同步控制 微机电系统 动态测试 频 闪 相 移 相对延时
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 研究通讯
• 页码范围: 1089-1092,1100
• 页数: 5页
• 分类号: TH113.2+2
• 字数: 2728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.10.026

摘要

为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术.通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学微系统研究中心	192	2245	25.0	38.0
2	来五星	华中科技大学微系统研究中心	23	386	10.0	19.0
3	刘胜	华中科技大学微系统研究中心	75	815	15.0	25.0
4	刘世元	华中科技大学微系统研究中心	35	363	11.0	17.0
5	白金鹏	华中科技大学微系统研究中心	6	114	4.0	6.0
6	谢勇君	华中科技大学微系统研究中心	8	118	4.0	8.0