线性阳极层离子源磁路设计与电磁场数值模拟

• 作者: 唐德礼 汪礼胜 程昌明
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 阳极层离子源 等离子体预清洗 离子束辅助沉积 电磁场 数值模拟
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: O539
• 字数: 2448字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2006.01.011

摘要

介绍了一种广泛应用于离子刻蚀、预清洗和离子束辅助镀膜的阳极层离子源的工作原理,分析了磁场对其性能的影响.给出了线性阳极层离子源磁路的设计.采用ANSYS有限元分析软件对线性阳极层离子源的静态电磁场进行了模拟分析,并与实验结果进行了比较,结果令人满意.通过ANSYS编码对电磁场模拟,可为具体的阳极层离子源的改进设计提供指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程昌明		17	105	7.0	9.0
2	唐德礼		35	180	7.0	12.0
3	汪礼胜		4	35	4.0	4.0