多孔电极平板结构的PdPc/H2PtCl6杂化有机半导体毒气传感器的研究

• 作者: 冯侨华 张洪泉 施云波 胡竹平 郭建英 项金娟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔电极 平板结构 有机半导体 杂化 毒气传感器 半导体传感器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 840-846
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.05.022

摘要

采用"摸扳法"以对甲基苯酚、4-硝基邻苯二晴为原材料,以N ,N二甲基甲酰胺为溶剂,在N2保护和碳酸钾的催化作用下,合成了酞菁分子碎片,通过质谱分析确定了相对分子质量为243(理论值为243.34),验证了工艺过程的正确性.以共溶技术将分子碎片与氯化钯在正戊醇、DBU作用下合成墨绿色四取代对甲苯氧基PdPc,通过红外吸收光谱分析验证了其吸收峰的测量值与理论值基本吻合,确定了合成反应终产物,进而以一定比例将PdPc 、H2PtCl6共溶在甲醇溶液中,在30～50 ℃下48 h杂化合成为有机半导体气敏材料.依据欧姆定律,并以激光微加工、半导体技术设计、制作了多孔电极平板结构,增大电极面积,降低了电极间距,比常用叉指电极结构的电阻降低了103倍以上,使其电导率接近无机半导体数量级,利于后续电路信号采集.通过电镜观察了多孔电极的微观SEM形貌,确定其为连续、多孔的表面态,气孔在φ0.1～φ2 μm,既保证了导电,又有透气的特征.以真空镀膜技术将气敏材料形成气敏膜,电镜观察其气敏膜的微观SEM形貌,基本层膜厚2 μm,并有φ0.1～φ5 μm微球结晶体嵌入,分布匀一,呈现继续互融生长趋势.以静态法测量其气敏特性,结果表明传感器对NO2呈N型半导体,0.010%气体浓度下灵敏度为7.45倍;对NO呈P型半导体,0.010%气体浓度下灵敏度为0.25倍;响应时间为90s.对气体不同的变化规律说明其的气敏机理与气体性能有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭建英	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	71	768	14.0	24.0
2	冯侨华	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	17	84	6.0	8.0
3	施云波	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	54	262	9.0	12.0
4	张洪泉	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	14	100	6.0	9.0
5	胡竹平	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	3	13	2.0	3.0
6	项金娟	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	4	15	2.0	3.0