一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计

• 作者: 施文典 范炜 郭会勇 陈兢
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 RF开关 吸合 瞬态模拟 集总参数分析 Post-CMOS
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 46-53
• 页数: 8页
• 分类号: TN40
• 字数: 3908字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.01.006

摘要

设计了一种新型横向接触式微机械RF开关,描述了其结构和工作原理.采用以电镀为主的工艺流程,并利用SU8光刻胶实现特殊器件结构,可实现Post-CMOS集成.利用模拟软件CoventorWare 2004和MEMS Pro 5.0(包含ANSYS 8.0)协同设计,对该器件进行了静态、模态和瞬态分析,得到吸合电压和吸合时间等重要性能参数.尤其在瞬态分析时运用了集总参数建模的方法,简化了计算.该器件的吸合电压低于30 V,在驱动电压为50 V的情况下,吸合时间达到16.1 ms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范炜	北京大学微电子学研究所	2	3	1.0	1.0
2	郭会勇	中国科学院电子学研究所	6	42	3.0	6.0
3	陈兢	北京大学微电子学研究所	7	27	4.0	5.0
4	施文典	北京大学微电子学研究所	1	1	1.0	1.0