电容式微机械超声换能器技术概述

• 作者: 何常德 张国军 张文栋 王红亮 薛晨阳
• 来源期刊: 中国医学物理学杂志
• 关键词: 电容式微机械超声换能器 微电子机械系统 制造 超声成像
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 专题:国家重点研发计划“数字诊疗装备研究”专项
• 页码范围: 1249-1252
• 分类号: TB552
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-202X.2016.12.015

摘要

电容式微机械超声换能器(CMUT)已成为一种重要的新型换能器,在医学成像领域的应用潜力得到了广泛关注.对CMUT超声换能器技术进行深入研究,对于提高我国超声医疗设备及其关键核心部件的竞争力有着重要意义.首先介绍了CMUT超声换能器制造工艺技术的发展过程和现状,其次总结了其在各种医学应用中的基本情况,包括器件的结构、尺寸和性能,最后分析了目前CMUT换能器技术存在的问题,并指出了CMUT换能器技术的未来发展趋势.