一种双轴电容式微机械加速度计

• 作者: 任杰 樊尚春
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微机械加速度计 有限元分析
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2174-2176
• 页数: 3页
• 分类号: TH82
• 字数: 1778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.228

摘要

提出一种双轴电容式微机械加速度计的结构形式.采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度,设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦,且结构稳定性好,以梳齿电容实现差动的静电驱动、电容检测.利用MATLAB软件对敏感结构参数、性能参数进行了计算、分析,用ANSYS仿真软件对敏感结构进行了静态和模态分析,从理论上验证了所提出的双轴电容式微机械加速度计整体结构的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器学院	161	841	15.0	21.0
2	任杰	北京航空航天大学仪器学院	10	65	5.0	8.0