空气耦合电容式微超声换能器线阵设计与测试

• 作者: 张慧 曾周末 李志 郑冠儒
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微加工超声换能器 空气耦合 相控阵 声学测试
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 803-808
• 页数: 6页
• 分类号: TB552
• 字数: 3294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.05.025

摘要

电容式微超声换能器(CMUT)作为一种新型的MEMS器件,在空气耦合无损检测领域具有较大的研究价值;设计了一种在空气介质中使用的电容式微超声换能器阵列,阵列由8个阵元组成,每个阵元包含16个CMUT敏感单元;介绍了CMUT换能器的原理和设计方法,利用FieldⅡ仿真了不同参数下的阵列指向性;对加工出的CMUT阵列进行了表面形貌测试和声学实验测试.实验结果表明:所加工的CMUT阵列满足设计要求,实验结果同仿真结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张慧	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	29	170	8.0	12.0
2	曾周末	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	132	1019	18.0	24.0
3	李志	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	14	11	2.0	3.0
4	郑冠儒	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	3	2	1.0	1.0