电容式微机械加速度计部分力学特性的分析

• 作者: 傅德生 彭勃 苏伟
• 来源期刊: 安徽工程科技学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 挠度 应力 差动电容
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: TB125|TP212
• 字数: 2796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0977.2003.04.014

摘要

推导了电容式微机械加速度计的悬臂梁在加速度作用下可能出现的两种挠度情况,分析了在制造过程中残余应力对于加速度计造成的影响,推导了电容式微加速度计的工作原理,并推荐了相应的工作模式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院流体物理研究所	92	541	12.0	16.0
2	彭勃	中国工程物理研究院流体物理研究所	19	115	6.0	10.0
3	傅德生	中国工程物理研究院流体物理研究所	1	3	1.0	1.0