现代三坐标测量机的开发

• 作者: 吴晓峰 张国雄
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 坐标测量机 激光测头 3D轮廓测量
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 301-306
• 页数: 6页
• 分类号: TG8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.04.011

摘要

开发了一种高精度三维坐标测量机,它包括一套激光测头系统和高性能的伺服机构,具有精确控制、定位优化、三级减速近似、在线位置修正和光滑算法等功能.实验结果表明,在6 400 mm×2 100 mm×1 500 mm的整个测量范围内,测量精度优于30 μm;在区域范围内,测量精度优于8 μm,采样速率超过1 000点/min.该测量系统的测量效率很高.另外,还可以用于测量软材料表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	267	3932	30.0	48.0
2	吴晓峰	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	68	3.0	4.0