应用于40Gb/s电吸收调制器的Al2O3高速热沉研究

• 作者: 孙长征 熊兵 王健 田建柏 罗毅 蔡鹏飞
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高速热沉 电吸收调制器 共面波导传输线 薄膜电阻 阻抗匹配
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 105-108
• 页数: 4页
• 分类号: TN36|TN81
• 字数: 2367字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2006.02.006

摘要

设计制作了面向40Gb/s电吸收调制器(EAM)的高速微波过渡热沉,并进行了EAM管芯级封装测试的验证.这种基于氧化铝(Al2O3)的热沉采用共面波导(CPW)传输线以实现低损耗微波传送,以及Ta2N薄膜电阻用于EAM的阻抗匹配.采用Ti/Cu/Ni/Au金属材料作为CPW传输线电极材料,从而保证CPW传输线与Ta2N电阻材料之间良好的电接触,使热沉的典型反射系数在0～40GHz范围内均达到优于-21 dB的水平.作为验证,采用该种热沉用于高速EAM的管芯级封装,测试得到小信号调制响应带宽超过40GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙长征	清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室	22	73	3.0	8.0
2	王健	清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室	57	1058	14.0	32.0
3	蔡鹏飞	清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室	2	31	2.0	2.0
4	罗毅	清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室	38	223	8.0	14.0
5	熊兵	清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室	18	13	2.0	2.0
6	田建柏	清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室	1	2	1.0	1.0