SEZ:单晶圆清洗解决方案的创新者--访瑟思半导体设备有限公司亚太区技术和行销副总裁陈溪新博士

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黄友庚

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篇名	SEZ:单晶圆清洗解决方案的创新者--访瑟思半导体设备有限公司亚太区技术和行销副总裁陈溪新博士
来源期刊	中国集成电路	学科
关键词
年，卷（期）	2006,（5）	所属期刊栏目	企业与产品
研究方向		页码范围	66
页数	1页	分类号
字数	1109字	语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1681-5289.2006.05.015