太阳能级硅粉在等离子体中纯化研究

• 作者: 王敬义 陈政强 陶甫廷
• 来源期刊: 广西工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能级硅 等离子体纯化 粉粒表面刻蚀 鞘区离子动能
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 1-4,8
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6410.2006.02.001

摘要

给出了本研究中所采用工业硅的要求和太阳电池功率高达14%的P型硅材料中单一杂质的阀值.针对太阳能级硅的纯化要求和工业硅的特性,提出了等离子体对硅粒"刻蚀提纯"的新概念.增加鞘层厚度将使硅粉浸泡于高动能离子中的几率增加,钝化效应消失从而达到提高纯化速率的目的.所研制的新型纯化系统能够满足硅粒自旋、长沉降时间和重复纯化的条件,所给出的工艺参数能满足鞘层宽、离子浓度高的要求.实验结果显示这种新的提纯方法可望用于太阳能级硅的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敬义	华中科技大学电子科学与技术系	17	44	4.0	5.0
2	陈政强	广西工学院电子信息与控制工程系	7	48	4.0	6.0
3	陶甫廷	广西工学院电子信息与控制工程系	17	58	5.0	5.0