16通道微型集成滤光片制备技术的研究

• 作者: 于天燕 刘定权 张凤山 李大琪 林炳
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 集成滤光片 组合刻蚀法 多通道滤光片 微型滤光片
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 287-290
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2006.04.011

摘要

多光谱成像光谱技术正在向光谱通道更多、集成度更高、体积小和重量更轻的方向发展,而用于分光的多通道滤光片是其关键光学元件,需要相应发展新型多光谱窄带集成滤光片制备技术.提出了组合刻蚀法布里-珀罗(F-P)滤光片间隔层的方法,将光学薄膜制备技术,离子束刻蚀技术与掩膜法技术相结合,形成新的多通道集成滤光片的制备方法.并在单个微型基片上,成功制备了集成16通道窄带线阵滤光片,获得的单元滤光片几何线宽为0.7mm,相对半峰全宽优于1.0%,透射峰定位精度优于0.25%.这一方法不但可满足集成度更高的滤光器件的要求,而且拓展了薄膜制备的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘定权	中国科学院上海技术物理研究所	49	176	8.0	12.0
2	张凤山	中国科学院上海技术物理研究所	36	251	8.0	14.0
3	李大琪	中国科学院上海技术物理研究所	12	52	4.0	7.0
4	林炳	中国科学院上海技术物理研究所	8	39	3.0	6.0
5	于天燕	中国科学院上海技术物理研究所	11	64	4.0	8.0