准分子激光工艺参数与修饰表面形貌的关系

• 作者: 刘莹 李小兵
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌 准分子激光 工艺参数 Al2O3陶瓷
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 1648字
• 语种: 中文

摘要

利用准分子激光加工技术,以Al2O3陶瓷材料作为试件,构建表面微观形貌.采用表面形貌仪测量表面轮廓,用自行开发的表面形貌参数表征软件系统绘制轮廓曲线,研究准分子激光加工工艺参数与修饰表面微观形貌之间的关系.结果表明,随着激光器上放大器电压和激光脉冲频率的增大,刻蚀凹槽深度逐渐增大,而随着扫描速度的增大,刻蚀凹槽深度却逐渐减小.此外,还发现刻蚀凹槽呈锥状,且两侧出现了稍微的隆起,这是由凹槽两侧少量喷溅物造成的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
2	李小兵	南昌大学机电工程学院	72	616	11.0	22.0