二维方型位置敏感探测器线性度的研究

• 作者: 戚巽骏 林斌 林眉德
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感探测器(PSD) 线性度 位置误差 RC模型 仿真
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 7-11
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2368字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2006.06.002

摘要

研讨位置敏感探测器(PSD)的线性度问题,对影响二维方型结构PSD的线性度的三种因素,即边框区电阻率,负载电阻以及分流电阻的均匀分布进行模拟仿真实验研究,得到了相应的电流-位置图,并对其进行了分析,得出边框电阻和负载电阻越小,分流面电阻越均匀,从而线性度越好,位置误差也越小的结论,为进一步提高二维方型结构PSD的线性度提供了途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林斌	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	69	777	15.0	26.0
2	戚巽骏	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	6	27	3.0	5.0
6	林眉德	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	2	4	2.0	2.0