微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统

• 作者: 刘玉圣 范光照 陈叶金
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微/纳米探头 激光读取头 聚焦误差信号 音圈马达 磁滞补偿
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 2278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.01.003

摘要

采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统.分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程.并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度.结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉圣	合肥工业大学仪器仪表学院	5	84	5.0	5.0
2	陈叶金	合肥工业大学仪器仪表学院	3	48	3.0	3.0