适用于3D裸芯片叠层塑封器件的DPA试验方法研究

• 作者: 周帅 江凯 王小强 王斌
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 3D叠层塑封器件 破坏性物理分析 X射线检查 声学扫描显微镜检查 内部目检
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 可靠性物理与失效分析技术
• 页码范围: 49-54
• 页数: 6页
• 分类号: TB114.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2019.05.008

摘要

由于3D叠层塑封器件的封装类型的特殊性和复杂性,传统的破坏性物理分析试验方法无法满足对该类型器件的芯片开裂、分层和键合失效(开路或短路)等失效模式的完整考核.因此,结合3D叠层塑封器件独特的结构和工艺,针对3D裸芯片叠层塑封器件的典型失效模式,研究了2D与3D相结合的X射线检查方法、C扫描/B扫描/透射模式相结合的声学扫描显微镜检查方法和基于芯片减层和分离技术的内部目检方法等新型DPA试验方法,并为3D叠层塑封器件的样品开封和层间分离等提供了指导性意见,满足了对3D叠层封装器件的设计、结构、材料、制造质量和工艺情况等进行完整考核的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王小强		35	41	3.0	4.0
2	王斌		10	4	1.0	1.0
3	江凯		3	0	0.0	0.0
4	周帅		13	6	2.0	2.0