基于PSD的微小位移测量研究

• 作者: 曾为 李超 陈培锋
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光测量 微小位移 多次反射 PSD
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 光电检测
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TN249
• 字数: 2005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2006.02.015

摘要

介绍了一种新型的纳米精度光学测量系统.该系统结合半导体位置探测器件(PositionSensitive Detection,PSD)及现代计算机技术,利用激光在两平面镜间多次反射,将测量镜的纳米量级被测物位移放大到PSD能够分辨出的微米量级的位移,从而利用相对低精度的手段完成高精度的测量.实验表明此系统能够对微小位移进行放大测量,测量精度达到11.5 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈培锋	华中科技大学激光技术与工程研究院	47	399	13.0	17.0
2	李超	华中科技大学激光技术与工程研究院	21	135	7.0	11.0
3	曾为	华中科技大学激光技术与工程研究院	6	106	6.0	6.0