PSD微位移测量系统的设计与验证

• 作者: 刘江 唐清清 汪涛 汪雨寒
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: PSD 运放电路 标定测量 稳定性 精度
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 472-477
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 字数: 3272字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.04.010

摘要

以提高PSD输出微弱电流信号的稳定性和精度为目的,讨论了PSD驱动、运放电路的设计。主要考虑因素包括：两级精密运放选择,电源滤波模块设计,PCB设计中数模抗干扰,电源和地的处理,抗环境光干扰,PSD及其运放电路集成化,以及适应不同漫反射性质的被测物体的多路放大倍数设计等。最后,区别于传统的测量方案,采用一种基于标定测量的方法。通过音叉振动波形和定点距离测量实验,验证了PSD微位移测量系统的稳定性和精度都较好,测量范围20 mm,位移测量相对精度达到1.01%。<br>　　以提高PSD输出微弱电流信号的稳定性和精度为目的,讨论了PSD驱动、运放电路的设计。主要考虑因素包括：两级精密运放选择,电源滤波模块设计,PCB设计中数模抗干扰,电源和地的处理,抗环境光干扰,PSD及其运放电路集成化,以及适应不同漫反射性质的被测物体的多路放大倍数设计等。最后,区别于传统的测量方案,采用一种基于标定测量的方法。通过音叉振动波形和定点距离测量实验,验证了PSD微位移测量系统的稳定性和精度都较好,测量范围20 mm,位移测量相对精度达到1.01%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪涛	重庆大学物理学院	53	266	9.0	12.0
2	刘江	重庆大学物理学院	21	256	8.0	15.0
3	唐清清	重庆大学物理学院	2	15	2.0	2.0
4	汪雨寒	重庆大学物理学院	3	19	2.0	3.0