纳米级光栅容栅融合测量系统研究

• 作者: 刘安坤 张增耀 毛谦敏 沈为民
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 容栅 纳米 融合测量技术
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 测试、检测与控制
• 页码范围: 1519-1522
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2623字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.055

摘要

利用容栅测量系统中激励信号源的设计技术,产生一组多相输出的调制信号源,作为光栅测量系统的多相线阵光源激励信号,发出的多相调制光信号,再经过标尺光栅调制后,由光电转换元件接收并获得一个复合的电信号.该信号经处理电路后,可获得一个频率与激励信号源的基波频率相等的电信号,检测这两个信号间的相位差的变化,可得到标尺光栅的移动距离x.将容栅和光栅测量技术有机地结合,并通过提高相位检测电路的细分数和减小线阵光源的点距,可达到亚微米或纳米级的测量分辨力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈为民	中国计量学院计量技术工程学院	74	383	10.0	14.0
2	毛谦敏	中国计量学院计量技术工程学院	32	190	8.0	12.0
3	张增耀	中国计量学院计量技术工程学院	4	100	3.0	4.0
4	刘安坤	中国计量学院计量技术工程学院	2	3	1.0	1.0