用虚光栅移相莫尔条纹法测量光学元件的角度偏差

• 作者: 孙娇芬 武旭华 陈磊
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 移相莫尔条纹 虚光栅 角度偏差 干涉图 图像处理
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 221-223
• 页数: 3页
• 分类号: TB922
• 字数: 2441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.03.005

摘要

引入一种处理静态干涉图的新方法--虚光栅移相莫尔条纹法,详细介绍了此方法的原理.它是一种基于虚光栅技术、移相技术和莫尔技术的载频图像处理方法,用这种方法处理一幅加有载频的干涉图时,可以实现干涉条纹移相的效果,且没有移相误差.以玻璃立方体楔角为例,介绍了虚光栅移相莫尔条纹法在光学元件的角度偏差测试方面的应用,给出了实验结果,并与ZYGO的测试结果进行比对,结果吻合,从而证实了这种方法的可行性.测量精度可达到0.1″,因此可应用于对角规精度的标定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	武旭华	南京理工大学电子工程与光电技术学院	5	44	3.0	5.0
3	孙娇芬	南京理工大学电子工程与光电技术学院	1	8	1.0	1.0