光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响

• 作者: 乔彦峰 张尧禹 秦富林 蔡盛
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅周期不一致 莫尔条纹法 扭转角测量
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 光学测试
• 页码范围: 508-512
• 分类号: O436.1|TB92
• 字数: 2139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2009.06.007

摘要

为了提高用莫尔条纹法测量扭转角的测量精度,分析了光栅周期不一致对扭转角测量误差的影响.从基于莫尔条纹法测量扭转角的原理出发,论述了光栅周期不一致与测量精度的关系,讨论了引起两光栅周期不一致的两个因素,即光栅刻划误差以及两光栅栅面不平行.理论分析表明,前者是引起光栅周期不一致的主要原因.当两光栅等效周期比值β<1.001时,在±15′的测量范围内,选择光栅周期为50 μm,莫尔条纹宽度为1400～1800μm时,光栅周期不一致引起的测量误差可以控制在1.6″之内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔彦峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	1052	16.0	25.0
2	张尧禹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	345	10.0	17.0