首个高纯微电子化学品项目投产

• 来源期刊: 无机化工信息
• 学科: 工学
• 关键词: 电子化学品 项目 高纯 投产 集成电路制造 微电子材料 氢氧化铵 双氧水
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 31-32
• 页数: 2页
• 分类号: TQ133.1

摘要

经过一年多的建设，年产15000吨的我国首个超净高纯微电子化学品项目于2006年9月在上海华谊微电子材料有限公司建成投产。项目包括了大规模集成电路制造所需的超净高纯硫酸、硝酸、盐酸、醋酸、氨水、氢氧化铵、双氧水等各种主要化学品，改变了国内此类产品完全依赖进口的状况。