受激准分子灯

• 作者: 严增濯
• 来源期刊: 光源与照明
• 学科: 工学
• 关键词: 受激准分子灯 电解质材料 真空紫外线
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 光源研究
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TM923
• 字数: 2689字
• 语种: 中文

摘要

受激准分子灯是近期研发的一种新类型产品,该灯采用一个充以低压气体的玻壳,两个电极至少有一个置于玻壳外,常用玻壳内无电极的结构.它可产生真空紫外线或紫外线+臭氧气,用于消毒杀菌清洁液晶基片、集成电路晶片等领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严增濯		19	14	2.0	3.0