金属有机化合物汽相淀积技术制备布拉格反射镜确定外延厚度的方法

• 作者: 俞波 廉鹏 李建军 沈光地 盖红星 邓军 陈建新 韩军
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 金属有机化合物汽相淀积 布拉格反射镜 反射谱 膜厚测定
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2254字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.01.010

摘要

外延膜层厚度的精确性对垂直腔面发射激光器(VCSEL)是十分重要的.应用传输矩阵方法分析了厚度偏差对半导体布拉格反射镜(DBR)反射谱的影响,并利用这种影响提出了一种金属有机化合物汽相淀积(MOCVD)制备布拉格反射镜精确确定外延厚度的方法.据此,应用MOCVD生长了980 nmVCSEL外延片,其反射谱中心波长为982 nm.结果表明,应用这种方法能够实现材料厚度、MOCVD系统生长参数的定标以及为VCSEL的材料生长提供可靠的依据.