一种带摆动机构的线锯床的设计

• 作者: 侯志坚 葛培琪 高玉飞
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 切片 线锯床
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 制造技术与装备
• 页码范围: 65-66,70
• 页数: 3页
• 分类号: TH511
• 字数: 1109字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2006.07.020

摘要

由于线锯切割具有切片薄、表面翘曲变形小、厚薄均匀和切口损失小等优点,被广泛用于单晶硅切片加工.本文介绍了单晶硅切片加工的常用设备及其特点,分析了主要影响因素,设计了一种带摆动机构的线锯床.该摆动机构由伺服电机驱动并自动控制,与传统线锯床相比,其锯丝可绕其中点转动,加工圆形工件时,能保持锯丝与工件的接触长度最短或不变.本文还指出了该锯床制造中的几点工艺问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛培琪	山东大学机械工程学院	122	1523	21.0	33.0
2	侯志坚	山东大学机械工程学院	9	124	7.0	9.0
6	高玉飞	山东大学机械工程学院	27	232	9.0	14.0