用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器

• 作者: 何枫 刘理天 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋 王喆垚 胡欢 董良
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 学科: 物理学
• 关键词: 微全分析系统 介质上电润湿 液滴产生和控制 感应耦合等离子体化学气相淀积
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 105-112
• 页数: 8页
• 分类号: O4
• 字数: 3015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9275.2006.01.010

摘要

介质上电润湿(EWOD)是指通过在介质层下面的微电极阵列上施加电势来控制液体和固体介质层表面之间的润湿特性. 研制出了EWOD液滴产生器的原型. 它采用"三明治"结构: 液体被夹在上下电极之间; 下极板用硅作为微电极阵列衬底、低压化学气相淀积(LPCVD)制备的Si3N4薄膜作为介质层, 感应耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)制备的碳氟聚合物薄膜作为厌水层; 上极板是覆盖有厌水层的透明导电玻璃板. 为了得到产生液滴所需要的最小电压, 对液滴产生的过程和临界条件进行了理论分析. 在35V电压下实现了包围在硅油中的去离子水液滴的产生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董良	清华大学微电子学研究所	21	87	5.0	8.0
2	岳瑞峰	清华大学微电子学研究所	67	379	11.0	15.0
3	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
4	何枫	清华大学工程力学系	73	1031	16.0	30.0
5	吴建刚	清华大学微电子学研究所	21	236	10.0	14.0
6	曾雪锋	清华大学微电子学研究所	16	183	9.0	13.0
7	胡欢	清华大学微电子学研究所	5	34	3.0	5.0
8	王喆垚	清华大学微电子学研究所	16	139	6.0	11.0