纳米多孔二氧化硅绝热薄膜的研究进展

• 作者: 张瑾 朱忠其 柳清菊 赵宗彦
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米多孔二氧化硅薄膜 绝热材料 绝热机理
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1859-1863
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 7095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2006.12.001

摘要

作为微电子机械系统(MEMS)技术中最有潜力的绝热材料,纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注.研究表明其绝热性能与微观结构密切相关.综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理,并讨论了目前存在的一些问题和今后的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柳清菊	云南大学材料科学与工程系	145	1693	22.0	33.0
2	张瑾	云南大学材料科学与工程系	73	823	15.0	25.0
3	朱忠其	云南大学材料科学与工程系	75	929	16.0	27.0
4	赵宗彦	云南大学材料科学与工程系	11	265	8.0	11.0