一种硅微机械陀螺小信号检测电路的设计

• 作者: 张福学 明亮 汪银年 王家光
• 来源期刊: 北京机械工业学院学报（综合版）
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微机械陀螺 差动电容 频率特性
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 20-25
• 页数: 6页
• 分类号: TN70
• 字数: 3643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-6864.2006.04.006

摘要

微弱输出信号的检测是微机械陀螺接口电路设计中的关键技术.针对旋转载体驱动硅微机械陀螺的振动特性,给出了一种适用于微弱电容变化量的小信号检测电路.信号经过差分放大之后,设计了一种适合该陀螺特点的带通滤波器,并对该电路的幅频特性和相频特性进行了分析.实验结果表明,该电路能有效敏感电容变化量,陀螺接口电路能检测到10-3pF量级的电容变化,最小分辨率可以达到0.1°/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张福学	北京信息工程学院传感技术研究中心	123	623	13.0	17.0
2	王家光	北京信息工程学院传感技术研究中心	3	8	1.0	2.0
3	汪银年	北京信息工程学院传感技术研究中心	3	12	2.0	3.0
4	明亮	北京信息工程学院传感技术研究中心	2	8	1.0	2.0